真空泵的主要参数有那些？
1、抽气速率：真空泵的抽气速率也叫生产能力，在一定温度下，真空泵在单位时间内能从设备内抽走气体的体积，单位m3/s或m3/h表示。
2、残余压力：也叫极限真空即真空泵能达到稳定状态下的最低压力，单位“Torr”或％表示。1Torr=1/760atm=133.3Pa。
3、抽气量：在一定温度下，真空泵在单位时间内能从设备内抽走指定气体量叫抽气量，单位m3/h。
4、起动压力：真空泵开始工作时的压力。