对大多数真空系统来说，真空阀门应具有以下广泛的性能：
1、锈性，与真空环境接触的材料一定要具有良好的防锈性能。因此广泛采用铝合金，铜合金和不锈钢来制造真空隔离部件。
2、作压力范围在0～2.5×105Pa，对较宽的压力范围，会使产品的使用面更广泛，而且阀板的密封最好是双向的，至少阀板在反顶大气压时也可密封。
3、漏率在高真空领域内漏率应<10-7Pa·l·s-1,较低的漏率有利于提高系统的效率，对降低生产成本非常有效。
4、动时，震动低，对系统冲击小。
5、构紧凑，重量轻。
6、显的阀位指示。
7、选配加装阀门启闭信号控制器，便于编程自动化控制。
8、高流导。
9、用波纹管作为位移的动密封，动态漏气，无油脂污染，可靠性高，相对橡胶密封，可靠性更高并可以避免产生颗粒污染。
10、空部分尽量避免采用真空脂。
11、量减少真空部件内的无用空间，以保证真空获得的时间更少。
12、可能的减少功耗。